·特性:Agilent E4991A帶寬頻率覆蓋1 MHz 到 1 GHz的范圍,能提供完整的介電/磁性材料測量解決方案。 
·晶圓測量:借助E4991A-010 探針臺連接套件,客戶可輕松地地將 Agilent E4991A 連接到射頻探頭系統(tǒng)(由 Cascade Microtech 提供)上進行晶圓測量。 
·溫度特性評估:溫度特性測試套件 E4991A-007 是一款為元器件和材料進行溫度特性測量的新型解決方案。該選件可在 - 55°C 至 + 150°C 廣泛的溫度范圍內提供高精度的溫度特性分析功能,以及                強大的溫度漂移補償功能。
 
Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀提供極限阻抗測量性能和功能強大的內置分析功能.
·基本精度: +/-0.8% 
·掃描參數
·頻率:1 MHz 至 3 GHz 
·振蕩器電平:高達 1 dBm/0.5 Vrms/10 mArms 
·DC 偏置電平(選件 E4991A-001):+/- 40V 或 +/- 50 mA 
Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀更多特性:
·內置 VBA 編程功能 
·通過 LAN 接口進行數據傳輸 
·多功能測量選件
 --介電/磁性材料測量(選件 E4991A-002) 
 --可靠的晶圓測量(選件 E4991A-010) 
 --溫度特性測量(選件 E4991A-007)