FUA-1128STGF硅片半導體清洗機 自動化程度高,適用于批量生麈,確保清洗質(zhì)量的一致性。 進口伺服驅(qū)動機構(gòu)及機械手臂,清洗過程中無需人工操作。 采用PLC全程序控制輿觸摸屏操作界面。清洗設(shè)置隨心所欲。 日本NTK高頻振子,配合第七代德國技衍發(fā)生器,保證輸送力均勻細膩。 自動氮氣鼓泡裝置可有效提高立品質(zhì)量,縮短清洗時間。 可選裝流凈化系統(tǒng)及自動配酸裝置。
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